1200C Peb Lub Cuab Yeej Cuab Yeej PECVD System
1200C Peb Lub Cuab Yeej Cuab Yeej PECVD System

1200C Peb Lub Cuab Yeej Cuab Yeej PECVD System

SK2-CVD-12TPB4 yog lub raj rauv rau PECVD qhov system, muaj 300W lossis 500W RF fais fab mov, ntau lub channel precision flow system, lub tshuab nqus tsev, thiab lub raj rauv. Qhov feem ntau siv kub yog 1100 degrees Celsius lossis qis dua, thiab nws cov yam ntxwv tseem ceeb yog qhov kub thiab txias, ceev tus nqi, zoo zaj duab xis zoo, tsawg pinholes, thiab tsis tshua muaj kev tawg. Ib qho khoom siv zoo tshaj plaws rau kev loj hlob nanowires lossis npaj ntau cov yeeb yaj kiab nyias siv CVD txoj kev.
Xa kev nug
Feature

 

● Max kub RT -1200 degree

● Split hom rauv, koj tuaj yeem qhib lub qhov cub.

● Muaj peev xwm qhia tau ntau tshaj 2 channel ntawm cov pa roj, nrog lub tshuab nqus tsev kawm ntawv ntawm 10Pa siv lub tshuab twj tso kua mis thiab 500W RF fais fab mov los txhim kho lub teeb liab.

● Kev ua tau zoo ntawm alumina ceramic fiber rwb thaiv tsev cov ntaub ntawv

● Kub tswj qhov tseeb ± 1 degree

● Nrog tshaj kub tswb muaj nuj nqi

● Cov kiv cua txias tuaj yeem txo qhov kub ntawm lub casing

 

Qauv

SK2-CVD-12TPB4

Dimensions: Standard Cua sov cheeb tsam ntev (mm)

4 40mm

Dimensions: Standard Tube txoj kab uas hla (mm)

∮60mm

Max.temperature

1200 degree, Nruam ua hauj lwm kub 1100 degree.

Qhov voltage (V)

220 1P

Hom thermocouple

K

Cua sov ntsiab

HRE Alloy kuj hlau

Temp.Precision

± 1 degree

Cua sov tus nqi

0-30 degree / min hloov kho dawb

Chamber khoom

Siv cov khoom siv zoo alumina microcrystalline fiber ntau

Rauv qauv

Ob txheej txheej cua-txias qauv, qhov kub thiab txias yog tsawg dua 60 degree

Kub tswj

Intelligent PID ntsuas kub tswj, 30 qhov kev pab cuam ntu, SSR tswj, PID parameter nws tus kheej-tuning muaj nuj nqi; qhov kev pab cuam kub nce, kev pab cuam tshav kub preservation, kev pab cuam txias

500W RF fais fab mov

Lub zog tso zis: 5-500W ± 1 degree

RF zaus: 13.56MHz ± 0.005%

Reflected zog: mus txog 100W

Match: Tsis siv neeg

RF interface: 50Ω, N-hom

Cua txias: cua txias

Fais fab mov: AC 208-240V, 50/60HZ

4 gas channel precision flow system

1. Tag nrho scale flow rate (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML / min. 10L / min

2. Valve hom: Solenold valve.

3. Valve so txoj hauj lwm: Nquag kaw.

4. Sib txawv siab: (50-300)kpa

5. Siab tsis kam: 3mpa.

6. Ua haujlwm kub: 5-45 degree

7. Khoom siv: stainless hlau 316L.

Lub tshuab nqus tsev

5*{1}}Pa

KF25 ceev txuas, stainless hlau bellows, phau ntawv flapper valve thiab flange, lub tshuab nqus tsev twj

Lub tshuab nqus tsev siab dua kuj tuaj yeem xaiv tau.

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Txais tos OEM / ODM

 

Standard Accessories

 

looj hnab looj tes|Crucible nuv|Thermocouple|Tube Thaiv|User Manual |Tools|Lub tshuab nqus tsev twj|Quartz raj|Flange|Sealing nplhaib|10mm roj hose|Flange kev them nyiaj yug, Gas system, RF zog.

 

xaiv tau

 

Cov cua kub sib txawv rau koj xaiv;

LCD kov npo tswj kev xaiv

RS485 / USB chaw nres nkoj los txuas lub computer rau xaiv.

 

Daim duab nthuav dav rau CVD-PECVD

 

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500W RF fais fab mov
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Lub tshuab nqus tsev
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4 gas channel precision flow system

 

Daim ntawv thov

 

Cov cuab yeej no tsuas yog siv rau kev loj hlob nanowires lossis npaj ntau yam kev loj hlob ntawm cov yeeb yaj kiab uas siv CVD txoj kev.

 

Warranty

 

Ib xyoo warranty thiab kev pab txhawb nqa mus ntev

Cov lus qhia tshwj xeeb:

1. Cov khoom siv xws li cov khoom siv cua sov, quartz raj, qauv crucible, thiab lwm yam tsis nyob hauv lub sijhawm lav.

2. Kev puas tsuaj los ntawm kev siv cov roj corrosive thiab cov roj acid tsis muaj kev tiv thaiv.

 

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